تتضمن عملية إنتاج الغازات التخصصية الإلكترونية العديد من العمليات مثل التوليف والتنقية والملء والتحليل والاختبار والخلط والتناسب. من أجل تلبية متطلبات تصنيع أشباه الموصلات في اتجاه مجرى النهر ، فإن عملية التطهير مهمة للغاية. اعتمادًا على تكوين غاز تخليق المنبع أو الغاز الخام ، يتم إجراء التقطير في درجة الحرارة المنخفض أو تنقية المراحل المتعددة.
متطلبات نظافة عالية
يمكن تقسيم عملية تحضير الغازات الخاصة الإلكترونية إلى كتلتين رئيسيتين من إعداد وتنقية التوليف في المنبع ، والذي ينتمي إلى عملية الإنتاج الكيميائي. حجم خط أنابيب الإنتاج كبير ، وليس هناك متطلبات مستوى نظافة خاصة. بعد تنقية المصب ، تمتلئ المنتج بالغاز ومختلط للتحضير. خط أنابيب الإنتاج صغير وله متطلبات مستوى النظافة. يحتاج إلى تلبية المواصفات القياسية لعملية تصنيع أشباه الموصلات.
متطلبات الختم عالية
نظرًا لنشاطها الكيميائي ، تضع الغازات التخصصية أيضًا متطلبات عالية على المواد وختم نظام عملية الإنتاج. تمامًا مثل متطلبات تصنيع أشباه الموصلات ، فإنه يمنع تسرب الواجهة الناجم عن إدخال الشوائب أو تآكل الغازات الخاصة. يمكن أيضًا استخدام النظام لمنع إدخال الشوائب أو تسرب الواجهة الناجمة عن تآكل الغازات الخاصة.
متطلبات الاستقرار عالية الجودة
تشمل جودة الغازات التخصصية الإلكترونية عددًا من المؤشرات مثل محتوى جسيمات النقاء والضوضاء. سيؤثر أي تغيير في المؤشرات على نتائج عملية تصنيع أشباه الموصلات المصب. لذلك ، من أجل ضمان اتساق مؤشرات منتجات الغاز الخاصة الإلكترونية ، يكون نظام عملية التحضير للتحكم في استقرار المؤشرات مهمًا للغاية.
نظرًا للنشاط الكيميائي ومتطلبات الجودة لـ EGP ، يجب أن يلبي نظام الإنتاج لإعداد EGP ، وخاصة نظام تنقية المصب ، متطلبات مواد النقاء العالية ، والختم العالي ، والنظافة العالية ، والاتساق عالي الجودة ، وإنشاء المكونات المهندسة معايير صناعة التصنيع شبه الموصل.
إن ما نشير إليه عادةً باسم "نقاء عالية" هو نظريًا أن تعريف نقاء المادة ، مثل غازات النقاء العالية ، والمواد الكيميائية عالية النقاء ، وما إلى ذلك. يشار أيضًا إلى أنظمة العملية أو مكونات نظام العملية التي يتم تطبيقها على المواد العالية للظهارة على أنها عالية النقاء ، مثل الأنظمة عالية النقاء والصمامات عالية الدقة. تتطلب أنظمة إعداد الغاز الإلكترونية التخصصية تجهيزات عالية للنقاء ، والصمامات ، ومكونات السوائل الأخرى ، أي التجهيزات والصمامات التي تتم معالجتها بمواد نقاء عالية وعمليات تصنيع نظيفة ، ويتم تنظيمها لسهولة التطهير والتنظيف. مع أداء الختم العالي. تم تصميم مكونات السوائل هذه لتلبية مسار تدفق العملية للتطبيق ، باستخدام متطلبات الهندسة والبناء في صناعة أشباه الموصلات.
اتصالات أنابيب نقاء عالية
تُستخدم اتصالات ختم الوجه المعدنية VCR والدليل التلقائي على نطاق واسع في متطلبات عملية نقاوة نظام السوائل المطلوبة بسبب القدرة على تلبية كل من الانتقال السلس لمسار التدفق عند الاتصال ، ولا توجد منطقة ركود ، وأداء ختم عالي. تشكل اتصالات VCR ختمًا ضيقًا من السطح عن طريق بثق حشية معدنية ناعمة نسبيًا. يتم ضمان اتصال ومتناسق ومتسق في كل مرة يتم فيها إزالة الحشية المشوهة واستبدالها.
يتم لحام الأنابيب باستخدام نظام لحام مداري تلقائي. يتم حماية الأنبوب بواسطة غاز نقاء عالية من الداخل والخارج. يدور قطب التنغستن على طول المدار للحام عالي الجودة. من الصعب تحقيق اللحام المداري الآلي بالكامل يذوب الأنبوب دون إدخال مواد أخرى ، حيث يصعب تحقيق لحام عالي الجودة عن طريق التحكم مرارًا وتكرارًا في الأنابيب ذات الجدران الرقيقة مع اللحام اليدوي.
VCR Metal Gasket Face Connection
توصيل لحام المؤخرة المدارية التلقائية للأنابيب
صمامات نقاء عالية
النشاط الكيميائي للغازات التخصصية القابلة للاشتعال ، المتفجرة ، التآكل ، والغازات الإلكترونية السامة يضع متطلبات عالية على ختم الصمام. من أجل تحسين موثوقية الختم ، فإن متطلبات الصمامات بدون تعبئة لمنع التسرب الخارجي ، أي تبديل تشغيل جذع الصمام وجسم الصمام بين الختم باستخدام ختم المعادن أو الحجاب الحاجز المعدني ، من أجل التخلص من التسرب بسبب التآكل والتشوه الختم. تُستخدم الصمامات المختقة والمختملة بالحجاب الحاجز بشكل شائع في أنظمة العمليات للتطبيقات عالية النقاء بسبب موثوقية أكبر للأختام واستبدال التنظيف وتطهير الصمامات.
الصمامات المختقة من الخوار هي بناء صمام الإبرة بدون تعبئة يسمح ببطيء الانفتاح وتنظيم التدفق. يستخدم للتخصيص الإلكترونية مع ملء الغاز مع متطلبات تدفق السلامة أو على زجاجات مصدر السلائف مع متطلبات السلامة العالية. تتيح أختام طرف الجذعية المعدنية جميعها درجات حرارة منخفضة للغاية وتستخدم لتسييل الغازات الإلكترونية المتخصصة في خزانات المنتج النهائي بعد التقطير المبرد للأنابيب.
صمام ختم الحجاب الحاجز غير النابض هو صمام مفتوح 1/4 بوصة لاستخدامه كصمام تبديل يتم التحكم فيه تلقائيًا في أنابيب التسليم. يتم استخدامها بشكل شائع في تطبيقات الضغط العالي الفائقة ، وتطبيقات عالية النقاء بسبب مسار التدفق الداخلي البسيط ، وحجمها الداخلي الصغير ، وسهولة التطهير والاستبدال.
يمكن أن تفتح الصمامات المختقة للحجاب الحاجز التي تغلق عن طريق الطرف الجذعي ببطء واستخدامها في ضغوط التشغيل العليا من الصمامات غير المغطاة بالحجاب الحاجز. يتم استخدامها على نطاق واسع في زجاجات حشوة الغاز الإلكترونية عالية الضغط أو قوارب مصدر السلائف.
لا يمكن استخدام صمام ختم الختم الثانوي فقط في أنظمة عملية درجة الحرارة المنخفضة للغاية عند -200 درجة ، ولكن أيضًا يمنع تسرب الوسائط الخطرة إلى الغلاف الجوي. عادة ما تستخدم للغازات الإلكترونية الخطرة للغاية ، مثل نظام ملء السيلان.
شركة Shenzhen Wofei Technology Co. ، مع أكثر من 10 سنوات من الخبرة في إمدادات الغازات الصناعية والمتخصصة والمواد وأنظمة إمدادات الغاز وهندسة الغازات من أشباه الموصلات ، LED ، DRAM ، أسواق TFT-LCD ، يمكننا تزويدك بالمواد اللازمة لدفع منتجاتك إلى مقدمة الصناعة. لا يمكننا فقط توفير مجموعة واسعة من الصمامات والتجهيزات للغازات الإلكترونية شبه الموصل ، ولكن يمكننا أيضًا تصميم أنابيب الغاز وتركيب المعدات لعملائنا. إذا كان لديك أي احتياجات في هذا المجال ، فيرجى الاتصال بنا على 27919860.
وقت النشر: يوليو -19-2023