مع نمو سوق أشباه الموصلات ، تصبح معايير النقاء والدقة أكثر صرامة. أحد العوامل المحددة في جودة تصنيع أشباه الموصلات هو الغازات المستخدمة في هذه العملية. تلعب هذه الغازات العديد من الأدوار في عملية التصنيع ، بما في ذلك:
السيطرة على عملية الدقة
الوقاية من التلوث
تعزيز الممتلكات المعدنية
لأداء هذه الأدوار بشكل فعال ، يجب أن يكون نظام توزيع الغاز والتوزيع فعالًا. يجب دعم تصميم أنظمة مناولة الغاز المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات من خلال مكونات قوية وتجميعات مخصصة لضمان إنتاج موثوق وعالي الجودة من أشباه الموصلات.
الغازات المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات
تتطلب عملية تصنيع أشباه الموصلات استخدام غازات مختلفة في مراحل مختلفة من العملية.
في حين يمكن استخدام الغازات الشائعة مثل النيتروجين والهيدروجين والأرجون والهيليوم في شكلها النقي ، قد تتطلب عمليات معينة مخاليط متخصصة. Silanes أو Siloxanes و Hexafluorides و Halides و Hydrocarbons هي بعض الغازات المتخصصة المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات. يمكن أن تكون العديد من هذه الغازات خطرة أو تفاعلية للغاية ، مما يخلق تحديات في اختيار وتصميم المكونات لأنظمة الغاز.
فيما يلي بعض الأمثلة:
يمكن للهيدروجين والهيليوم أن يتسرب بسهولة من أنظمة الأنابيب والملاءمة بسبب حجمها الذري الصغير ووزنها.
\ silanes قابلة للاشتعال للغاية ويمكن أن تحترق تلقائيا (التلقائي) في الهواء.
\ nitrogen difluoride المستخدمة في مراحل الترسب والحفر وتنظيف الغرفة يصبح غازًا قويًا للاحتباس الحراري عند تسربه إلى البيئة.
\ فلوريد الهيدروجين (غاز الحفر) هو تآكل للغاية للأنابيب المعدنية.
\ trimethylgallium والأمونيا قد يكون من الصعب التعامل معها - يمكن أن تؤثر التقلبات الصغيرة في متطلبات درجة الحرارة والضغط على عملية الترسب.
يجب أن يكون التحكم في ظروف العملية لتقليل الآثار السلبية لهذه الغازات أولوية قصوى أثناء تصميم النظام. من المهم بنفس القدر استخدام مكونات أعلى جودة مثل صمامات AFK Diaphragm أثناء عملية الإنشاء.
معالجة تحديات تصميم النظام
غازات درجة أشباه الموصلات هي في معظم حالات نقاء عالية وتوفر ظروف خاملة أو تعزز التفاعلات في مراحل مختلفة من عملية التصنيع ، مثل غازات الحفر والترسب. يمكن أن يكون للتسرب أو تلوث هذه الغازات آثار سلبية. لذلك ، من الأهمية بمكان أن تكون مكونات النظام مختومة ومقاومة للتآكل بالإضافة إلى الانتهاء من السطح الأملس (التلميع الكهربائي) لضمان عدم وجود إمكانية للتلوث ويمكن الحفاظ على مستوى عالٍ للغاية من النظافة.
بالإضافة إلى ذلك ، يمكن تسخين أو تبريد بعض هذه الغازات لتحقيق ظروف العملية المطلوبة. تضمن المكونات المعزولة جيدًا التحكم في درجة الحرارة ، وهو أمر بالغ الأهمية للأداء الفعال للمنتج النهائي.
من مدخل المصدر إلى نقطة الاستخدام ، تدعم مجموعة المكونات الواسعة من AFK النقاء الفائق ودرجة الحرارة والضغط والتحكم في التدفق المطلوبة في غرف نظافة أشباه الموصلات وغرف الفراغ.
الأنظمة المصممة مع مكونات الجودة في فابز أشباه الموصلات
يعد دور مكونات الجودة وتحسين التصميم أمرًا بالغ الأهمية للتحكم الدقيق والتصنيع الآمن لأشباه الموصلات. يجب أن تكون المكونات المستخدمة قوية وخالية من التسرب لتتناسب مع شروط العملية المتغيرة المطلوبة في مراحل مختلفة من التصنيع. تتميز الصمامات عالية الجودة ، والتجهيزات ، والمنظمين ، والأنابيب ، وختم الأقواس الختم بالميزات التالية:
نقاء فائقة عالية
أختام خالية من التسرب
عزل درجة الحرارة
التحكم في الضغط
مقاومة التآكل
علاج التلميع الكهربائي
وقت النشر: Oct-09-2023