يعود استخدام الغازات في صناعة أشباه الموصلات إلى أوائل الخمسينيات إلى 1960. أثناء عملية تصنيع أشباه الموصلات ، تُستخدم الغازات بشكل أساسي لتنظيف وحماية مواد أشباه الموصلات لضمان نقاءها وجودتها. من بين الغازات الأكثر استخدامًا النيتروجين والهيدروجين.
مع تطور تقنية أشباه الموصلات واستمرت عمليات التصنيع في التحسن ، زاد الطلب على الغازات. في عام 1970 ، زاد تطوير تقنية تصنيع أشباه الموصلات ، وتطبيق الغازات في العمليات الرئيسية مثل الحفر وترسب الأفلام الرقيقة تدريجياً ، وتصبح غازات الفلوريد (مثل SF6) وأكسجين غازات الحفر والترسب شائعة الاستخدام. شهد عام 1980 زيادة أخرى في الطلب على الغازات مع تطوير الدوائر المتكاملة وزيادة الطلب عليها. تم استخدام الهيدروجين على نطاق واسع في عملية التصنيع ، بما في ذلك ترسيب البخار الهيدروجين وترسب الهيدروجين. ومن عام 1990 إلى الوقت الحاضر ، زاد الطلب على الغازات العالية والغازات المحددة مع استمرار تقليص أحجام أجهزة أشباه الموصلات وتم تقديم عمليات جديدة. على سبيل المثال ، يتطلب تطبيق الطباعة الحجرية فوق البنفسجية (EUV) استخدام غازات عالية النقاء للغاية مثل النيتروجين والهيدروجين.
يستمر الكشف عن غاز أشباه الموصلات مع تطوير المنتجات ذات الصلة التي يحركها المزيد والمزيد من المنتجات ، في حين أن الغاز ينتمي أيضًا إلى مصدر الخطر ، وبالتالي فإن المنتجات المستخدمة في تخفيف الضغط الغاز ، ومكتب الكشف عن الغاز ، ومنع منتجات تسرب الغاز قد نشأت مثل منظمات الضغط ، وصمامات الغاز ، ومقاييس ضغط الغاز ، واضطراب الغاز ، وما إلى ذلك ، وتجاوزاتها التالية:
منظمات الضغط: منظمات الضغط هي الأجهزة المستخدمة للتحكم في ضغط الغاز. وعادة ما تتكون من صمام منظم ومستشعر الضغط. تأخذ منظمات الضغط مدخلات غاز عالية الضغط وتثبيت ضغط غاز الخرج عن طريق ضبط الصمام لتلبية متطلبات التطبيق المحددة. تستخدم منظمات الضغط على نطاق واسع في مجالات مثل الصناعة والتصنيع والمختبرات ، وكذلك في صناعة أشباه الموصلات ، من بين أمور أخرى ، لضمان استقرار وسلامة إمدادات الغاز.
صمامات الغاز: تُستخدم صمامات الغاز للتحكم في تدفق الغازات وإغلاق ممرات الغاز. عادة ما يكون لديهم وظيفة تشغيل/إيقاف تفتح أو يغلق تدفق الغاز. هناك أنواع مختلفة من صمامات الغاز ، بما في ذلك الصمامات اليدوية والصمامات الكهربائية والصمامات الهوائية. يتم استخدامها على نطاق واسع في أنظمة الغاز للتحكم في التدفق والضغط ومعدل تدفق الغازات.
مقاييس ضغط الغاز: يتم استخدام مقاييس ضغط الغاز لقياس مستوى ضغط الغاز. عادة ما يتم تثبيتها في المواقع الحرجة في أنظمة الغاز لمراقبة تغييرات الضغط والتأكد من أنها ضمن حدود آمنة. تستخدم مقاييس ضغط الغاز على نطاق واسع في الصناعة والتصنيع والمختبرات ، كما شاركت صناعة أشباه الموصلات.
كاشفات تسرب الغاز: يتم استخدام أجهزة كاشف تسرب الغاز للكشف عن التسريبات في أنظمة الغاز. يكتشفونوجود تسرب الغاز وصوت إنذار بحيث يمكن اتخاذ إجراء في الوقت المناسب لمنع حوادث التسرب. تستخدم كاشفات تسرب الغاز على نطاق واسع في تطبيقات الصناعية والكيميائية والنفط والغاز ، كما شاركت صناعة أشباه الموصلات.
وقت النشر: فبراير -20-2024