يمكن لمعدات معالجة الغاز الذيل التعامل مع الغازات المستخدمة في عمليات الحفر وعمليات ترسيب البخار الكيميائي في صناعات أشباه الموصلات ، وصناعات الطاقة السائلة ، وصناعات الطاقة الشمسية ، بما في ذلك SIH4 و SiH2Cl2 و PH3 و B2H6 و TEOS و H2 و CO و NF3 و SF6 و C2F6 و WF6 و NH3 و N2O و N2O.
طريقة معالجة غاز العادم
وفقًا لخصائص معالجة غاز العادم ، يمكن تقسيم العلاج إلى أربعة أنواع من العلاج:
1. نوع غسل المياه (معالجة الغازات المسببة للتآكل)
2. نوع المؤكسدة (التعامل مع الغازات القابلة للاحتراق والسامة)
3. الامتزاز (وفقًا لنوع مادة الامتزاز للتعامل مع غاز العادم المقابل).
4. نوع احتراق بلاسما (يمكن علاج جميع أنواع غازات العادم).
كل نوع من العلاج له مزاياه وعيوبه وكذلك نطاق تطبيقه. عندما تكون طريقة المعالجة غسل المياه ، تكون المعدات رخيصة وبسيطة ، ويمكنها فقط التعامل مع الغازات القابلة للذوبان في الماء ؛ نطاق التطبيق لنوع غسل المياه الكهربائية أعلى من نوع غسل المياه ، لكن تكلفة التشغيل مرتفعة ؛ النوع الجاف له كفاءة معالجة جيدة ، ولا ينطبق على تدفق الغاز الذي يسهل انسداده أو تدفقه.
يمكن تصنيف المواد الكيميائية ومنتجاتها الثانوية التي تستخدم بشكل شائع في صناعة أشباه الموصلات وفقًا لخصائصها الكيميائية ونطاقاتها المختلفة:
1. الغازات القابلة للاشتعال مثل SIH4H2 ، إلخ.
2. الغازات السامة مثل ASH3 ، PH3 ، إلخ.
3. الغازات المسببة للتآكل مثل HF ، HCL ، إلخ.
4. غازات الدفيئة مثل CF4 ، NF3 ، إلخ.
نظرًا لأن الغازات الأربعة المذكورة أعلاه ضارة بالبيئة أو جسم الإنسان ، يجب أن تمنع انبعاثاتها المباشرة في الغلاف الجوي ، وبالتالي يتم تثبيت محطة أشباه الموصلات العامة مع نظام كبير معالجة غاز العادم المركزي ، ولكن هذا النظام هو فقط عادم تمتد للمياه ، وبالتالي يقتصر تطبيقه على الغازات التي يتم قطعها على نطاق واسع. لذلك ، من الضروري اختيار ومطابقة معدات معالجة غاز العادم المقابلة وفقًا لخصائص الغاز المستمدة من كل عملية من أجل حل مشكلة غاز العادم بطريقة صغيرة. نظرًا لأن منطقة العمل في الغالب بعيدًا عن نظام معالجة غاز العادم المركزي ، وغالبًا ما يؤدي ذلك إلى خصائص الغاز إلى التبلور أو تراكم الغبار في خط الأنابيب ، مما يؤدي إلى انسداد خط الأنابيب الذي يؤدي إلى تسرب الغاز ، وفي الحالات الخطيرة ، لا يمكن أن يسبب انفجارًا ، لا يمكن أن يضمن أن سلامة عمل موظفي الموقع. لذلك ، في منطقة العمل ، تحتاج إلى تكوين معدات معالجة غاز العادم الصغيرة مناسبة لخصائص غاز العملية ، من أجل تقليل غاز العادم الراكد في منطقة العمل ، لضمان سلامة الموظفين.
وقت النشر: أغسطس-10-2023